40.68MHz1000W固态射频电源
公司总部位于陕西西安,以西北地区为战略腹地,同时,业务触角延伸至西南(川渝)及华中地区,为全国客户提供高效可靠的电源产品与系统解决方案。
40.68MHz1000W固态射频电源
半导体制造/刻蚀
本产品为全固态射频电源,工作频率40.68MHz,额定输出功率1000W,采用DC 38-43V低压供电,专为工业等离子体应用场景设计。产品采用全固态功放技术,具备效率高、寿命长、稳定性好等优势,广泛应用于半导体工艺、等离子体清洗、真空镀膜、射频激励CO2激光器及科研实验等领域。
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公司总部位于陕西西安,以西北地区为战略腹地,同时,业务触角延伸至西南(川渝)及华中地区,为全国客户提供高效可靠的电源产品与系统解决方案。
行业聚焦型丨专注四大行业领域
- 医疗设备行业:为CT/MRI/监护仪等设备制造商提供医用电源模块
- 轨道交通行业:为铁路信号系统、车载设备提供高可靠电源方案
- 工业制造行业:为自动化产线、食品加工、机器人等提供工业电源产品
- 光伏与军工行业:为新能源配套及特种装备提供电源系统
服务流程:需求诊断 → 方案设计 → 确认无误 → 定制开发 →样品交付 → 批量交付 → 售后运维
典型技术指标
| 工作频率 | 40.68 MHz ±0.005% |
|---|---|
| 输出功率范围 | 60-1000W,十个档位可调 |
| 功率稳定度 | ≤±0.5% |
| 供电电压 | DC 38-43V |
| 负载阻抗 | 50Ω |
| 输出接口 | N型同轴连接器 |
| 工作模式 | 连续/脉冲可切换 |
| 谐波抑制 | 二次谐波≤-55dBc |
| 冷却方式 | 强制风冷 |
| 保护功能 | 驻波保护、超温保护、过流保护 |
应用场景
- 半导体与光伏制造:适用于等离子体刻蚀、反应离子刻蚀(RIE)、PECVD镀膜、溅射等半导体前道工艺。
- 等离子体清洗与表面处理:用于材料表面改性、有机污染物去除、亲水化处理等工艺,覆盖消费电子、光学器件、
- 射频激光系统:可作为射频激励CO2激光器的功率源,提供稳定的高频能量输出。
- 科研实验与实验室应用:适用于ICP等离子体源、材料研究、等离子体物理实验等科研场景。
核心技术优势
- 十档功率精准可调:支持60-1000W十个档位连续可调输出,满足不同工艺场景对功率的差异化需求。
- 40.68MHz为ISM(工业、科学、医疗)专用频段,是等离子体应用的主流频率之一。
- DC 38-43V低压供电设计,支持开关电源或蓄电池灵活供电,适配多种系统集成场景。
- 全固态功放技术相比传统电子管方案,具有启动快、效率高、寿命长、一致性好等优势。